在线烟气分析仪也叫在线湿度仪，主要用于工业上烟气湿度的监测和控制，并且广泛应用于烟气在线连续监测系统CEMS中脱硫设备、超低排放、VOC等场合湿度的测量，亦可用于木材、建材、造纸、化工、制药、烟草、印染等场合的湿度控制。

在工业生产过程中，控制物料中的水分含量具有重要的作用。例如，在一些聚合反应过程中，若原料中含有一定的水分，就会大大降低聚合产品的性能。在乙烯裂解分离过程中，如果裂解气中含有微量水分，在深冷分离工序就会造成设备冻裂停产的重大事故。在很多合，微量水分对催化剂具有毒性，若不除去就会使催化剂中毒失效，如聚乙烯、聚丙烯聚合反应中，要求进料含水量<1ppm,否则催化剂活性降低，会造成产品变色。某些气体如氯化氢等，其中存在水分会产生很强的腐蚀作用。

在天然气管道输送中，如果含有水分，天然气中的硫化氢会产生较强的腐蚀作用，对输气管道和设备造成产重损害。在石油炼制过程中，物料的水分含量也是个重要的因素，将会直接影响产品质量和设备的安全运转。其他如电力行业对SF6气体、冶金行业对保护气体、制气行业对高纯气体、半导体制造业对环境气体中微量水分的含量均有严格的要求。因此烟气水分仪用于微量水分的测量及控制对许多生产过程是必不可少的。